设备优势

• 功能性能优势

  当（dāng）前业内最高性能，
  每小时出片量（WPH）超（chāo）过16000，远高于行业10000～12000的平均水平
  检测量（liàng）测精度达到0.8um
  碎片率稳定低于0.05%
  漏（lòu）检率<0.1%，过杀（shā）率（lǜ）< 0.05%

• 机电优势（shì）

  上（shàng）料：两套缓存机构无缝衔接上料；兼（jiān）容多（duō）尺寸花篮 下料：采用伯努利悬浮式（shì）下（xià）料（liào）装置，保障极低的碎片率；并行多组独立下料装置；下（xià）料盒无缝切换
  电气优势：实时（shí）监控物料，提示报（bào）警信息，定位问（wèn）题工位；各工位（wèi）独（dú）立控制，精准调控

  
• 检（jiǎn）测优势（shì）

  多工位检测硅片（piàn）四周崩边及表面缺陷，采用识别硅材（cái）质的深（shēn）度（dù）学（xué）习模（mó）型，高精度完（wán）成检测

  
• 量测优（yōu）势

  上（shàng）下双线扫相（xiàng）机精准识别厚度、平（píng）面度和线痕
  在检测阶段提前剔（tī）除隐裂和碎（suì）片，减少后续下料分（fèn）拣负担